有機廢氣處理流程及應用實例，有機廢氣處理主要有吸收法、吸附法、焚燒法、生物法等處理技術。吸收法是利用有機氣體水溶性的特性，且添加次氯酸鈉或過氧化氫等氧化劑，將有機廢氣中的有機氣體去除。此方法因添加氧化劑不但處理成本增加，且易形成二次污染，故吸收法未得到普遍應用。生物處理法是利用微生物的代謝作用，將污染物分解成無害物質。生物處理法運行費用低，二次污染小，但處理條件嚴、持續時間長，占地面積大，故實際應用較少。焚燒法是利用高溫焚燒過程將有機廢氣轉換成CO2與H2O，根據廢氣的焚燒溫度可分為750攝氏度-850攝氏度的焚燒化與350攝氏度～450攝氏度觸媒焚化二類，因觸媒式易造成觸媒毒化，故很少采用這種方法。吸附法是利用高孔隙率、高表面積的吸附劑，將廢氣中的有機氣體分子分離，而凈化有機廢氣。適用于集成電路產業的有機廢氣處理方法有吸附法和焚燒法。

有機廢氣處理系統由高溫轉輪裝置和活性炭吸附裝置構成。有機廢氣通過預過濾器，除去灰塵顆粒，保護下游的設備；通過原氣體冷凝器，除去高沸點有機物甲基乙基酮MEA，保護高溫轉輪裝置內的吸附劑；通過加熱器，加熱冷凝后的有機廢氣至30。C左右，這樣可以提高有機物吸附率；接著通過G—AC過濾器，再次過濾去除高沸點有機物。廢氣送風機將有機廢氣送人高溫轉輪裝置進行吸附。高溫轉輪分為前后二室，并裝有一個大轉盤，轉盤上裝有紙質活性炭過濾器。有機廢氣處理過濾和吸附后排人大氣中，吸附后的轉盤轉入另一室內，通入150。C左右的熱空氣進行解吸附，解吸附出來的濃縮氣體通過過濾器、冷凝器、加熱器、G—AC過濾器等設備，被濃縮氣體送風機送人顆粒活性炭吸附筒處理，吸附后排放于大氣中。http://dmpas.com/

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