廢氣處理設備中等離子廢氣凈化器是由電子、離子、自由基和中性離子流組成，工作狀態呈流星雨狀導電性流體，屬固態、液態、氣態之外第四種物質形態。等離子發生器整體保持電中性，安全可靠。按離子的溫度，等離子分為熱平衡等離子體、非平衡等離子體和低溫等離子體 ．
 低溫等離子凈化工作原理 
采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。流星雨狀的高能離子與介質內分子（原理）發生非彈性碰撞，將能量轉化成基態分子（原子）的內能，發生激發、離解、電離等一系列過程使污染介質處于活化狀態。 
功能特點：
1. 具有一次性凈化效率高，能同時凈化多種污染物；
2. 防火性能采用開關，電源，電路三重自動保護；
3. 設備體積小，結構緊湊，工藝成熟；
4. 設備投資少，運行成本低；
5. 安全穩定，維護方便，使用壽命長；
6. 凈化效率高，無二次污染。
適用范圍：
噴漆車間，油墨印刷，噴涂車間，化工，醫藥，橡膠，食品，印染，造紙，釀造等生產過程中產生的有毒有害廢氣。